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TESCAN SOLARIS X,
プラズマ FIB-SEM
パワーハウス

ディープセクショニングと高分解能エンドポインティングのための先進プラットフォームで、パッケージレベルの故障解析を改善します。

ISTFA2021_講演要旨集_大容量_ワークフロー_レーザーXeプラズマ-FIB_10月11日_2021_フォーマット(1)_Page_1