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半導体デバイスにおける2次元ひずみ解析:5nm FinFET回路のケーススタディ

TESCAN TENSORが先進のビームプリセッション技術により、5nm FinFET回路における精密な2次元ひずみ解析をどのように可能にしたかをご覧ください。ケーススタディを読む。

半導体デバイスにおける2次元ひずみ解析:5nm FinFET回路のケーススタディ